- Gasdiffusionsverfahren
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Gasdiffusionsverfahren,Halbleitertechnik: Gasdiffusionsdotierung, mit gasförmigen Dotanten arbeitende Diffusionstechnik zur Dotierung von Halbleitermaterialien (besonders Wafern).
Universal-Lexikon. 2012.
Gasdiffusionsverfahren
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